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ABT-1000氣浮主軸,10萬轉(zhuǎn)半導體晶圓研磨工具

文章出處:深圳市春亨工具儀器有限公司 人氣:-發(fā)表時間:2025-02-28 09:22:00

  ABT-1000氣浮主軸是一款由日本Nakanishi(中西)公司生產(chǎn)的精密氣動主軸。

       以下是關于ABT-1000氣浮主軸的詳細介紹:


  一、主要特點

ABT-1000中西精密氣浮主軸.png


  高速運轉(zhuǎn):ABT-1000氣浮主軸的轉(zhuǎn)速高達100,000轉(zhuǎn)/分鐘,能夠快速完成加工任務,顯著提高生產(chǎn)效率。

  高精度加工:主軸跳動精度在1μm以內(nèi),確保了加工工件的精度和表面光潔度,滿足高精度加工需求。

  長壽命:采用空氣軸承技術,避免了傳統(tǒng)機械軸承因摩擦而產(chǎn)生的磨損和失效,從而延長了主軸的使用壽命。

  低噪音:空氣軸承的非接觸式結(jié)構(gòu)減少了機械摩擦和振動,降低了加工過程中的噪音,提供舒適的加工環(huán)境。

  環(huán)保節(jié)能:空氣軸承主軸的潤滑介質(zhì)為空氣,無需使用潤滑油,減少了環(huán)境污染和能源消耗。


  二、應用領域

光學鏡片研磨拋光加工 (2).jpg


  半導體制造:在半導體晶圓的研磨、切割等工藝中,ABT-1000氣浮主軸能夠提供穩(wěn)定、精確的切削性能,確保晶圓的精度和表面光潔度。

  精密機械加工:可用于高光、銑削、鉆孔等多種精密機械加工任務,提高加工精度和生產(chǎn)效率。

  模具制造:在模具的精密加工中,ABT-1000氣浮主軸同樣能夠提供穩(wěn)定、精確的切削性能,確保模具的精度和壽命。


  三、產(chǎn)品參數(shù)


  類型:氣動主軸

  外徑:Φ40mm

  最高轉(zhuǎn)速:100,000轉(zhuǎn)/分鐘

  主軸跳動精度:1μm以內(nèi)

  輸出功率:88W

  夾頭:CHA組(可夾持刀具柄徑范圍為φ0.5~φ4.0mm)

  重量:約820g

  軸承氣壓:0.55MPa


  四、使用注意事項

氣懸浮主軸外觀.jpg

  供氣要求:空氣軸承主軸需要清潔干燥的空氣。在供氣時,需確保氣壓穩(wěn)定且空氣干燥無雜質(zhì)。

       同時,應始終向空氣軸承供氣,即使在主軸停止時也需保持供氣狀態(tài)。

  操作規(guī)范:在使用ABT-1000氣浮主軸時,需遵循操作規(guī)范,避免主軸和軸承在無供氣狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)或更換工具/夾頭。

      以防止損壞接觸區(qū)域并妨礙其正常工作。


此文關鍵字:ABT-1000 半導體精加工 晶圓切割

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